□ 賽默飛 供稿

3月21日，科學服務領域的世界領導者賽默飛世爾科技(以下簡稱“賽默飛”)亮相于上海舉辦的SEMICON CHINA 2019展會，并在現場發布展示了其最新一代的產品及半導體綜合解決方案，新品致力于提高工廠及分析實驗室效率，進一步助力中國半導體事業的發展。

2014年6月，《國家集成電路產業發展推進綱要》正式發布，我國的半導體行業拉開了高速發展的序幕。近年來，應用可編程芯片(FPGA)、人工智能云端以及邊緣運算端芯片等一系列前沿技術的半導體新產品開發正如火如荼地進行——半導體產業的技術節點也在不斷提高，如何實現更先進的制程工藝、更高的良率、更大的產能已成為半導體行業迫切需要面對和解決的問題。

為了滿足我國快速增長的市場需求，賽默飛中國現有8家工廠分別在上海、北京、蘇州和廣州等地運營，并在全國設立了7家應用開發中心及示范實驗室，將世界級的前沿技術和產品帶給我國用戶，同時提供應用開發與培訓等多項服務。賽默飛位于上海的中國創新中心結合我國市場需求和國外先進技術，不斷研發適合我國的技術和產品，為全國用戶提供服務。賽默飛中國區總裁艾禮德(Tony Acciarito)表示：“新興技術市場趨勢以及政策支持正為中國半導體和電子科技產業帶來前所未有的機遇，秉持‘扎根中國、服務中國’的發展戰略，我們期待利用自身在半導體行業的豐富經驗及優勢，攜手本土合作伙伴共同推動中國半導體產業的發展和創新。”

此次SEMICON CHINA 2019上，賽默飛從多個維度綜合展現了其在實驗室方案、失效分析、環境分析與生產支持方面的綜合能力及一體化解決方案。其中，以Thermo Scientific™ Helios 5為代表的一眾新品也通過SEMICON CHINA 2019這一平臺首次在我國與業界的朋友們見面。

Thermo Scientific™ Helios 5

賽默飛首發推出最新一代Thermo Scientific™ Helios 5，這款全新的先進的小型聚焦離子束掃描電子顯微鏡適用于納米材料的表征和分析。Helios 5產品系列的發布解決了目前越來越多的半導體技術挑戰，包括更小的幾何形狀、3D結構、新材料和大量的分析樣品以提高產量和根本原因分析。隨著半導體產業從7nm技術節點轉向5nm技術節點，Helios 5 TEM和Atom Probe樣品制備軟件能提高對先進的原子級結構和成分信息的獲得能力，它可以在納米尺度上實現更高質量的表面和3D信息，從而精確地定位感興趣的區域。

Thermo Scientific™ ELITE™ 系統

在半導體工業已經普遍使用ELITE(Enhanced Lock In Thermal Emission)實現電性失效分析定位的背景下，賽默飛研發出具有極佳靈敏度的ELITE系統用以彌補傳統EMMI/OBIRCH檢測的不足。ELITE還可以作為非破壞性檢測，能對封裝后的元件分析其失效點的位置深度。除先進制程和封裝的需求之外，針對功率元件在車用電子方面的應用，ELITE還支持高電壓的測試。

Thermo Scientific™ Nicolet™系列光譜儀

此次展會，賽默飛帶來了其Nicolet旗下的兩款由尖端技術精心打造的光譜儀——Thermo Scientific™ Nicolet™ iG50 FT-IR與Thermo Scientific™ Nicolet™ iN10。iS50/iG50系列硅片分析系統為硅片的研究或大規模制造的質量控制提供了靈活強大的解決方案，Nicolet iS50/iG50系列硅片分析系統主要應用于氧、碳含量分析以及外延層(EPI)厚度測量。除此之外，iS50/iG50還可以應用于鈍化層分析，例如PSG、BSG、PBSG中PB含量、Si中H的含量測定以及FSG。iN10是一種直觀、創新、集成的一體化傅里葉變換顯微紅外光譜儀，具有安裝簡便、性能卓越、光譜質量高的特點。Nicolet iN10顯微紅外光譜儀在半導體微電子領域主要應用于固化膠的固化率測定、電子材料的分析與表征、顯示材料的剖析與表征以及異物分析。

Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS

如今，ICP-MS的應用領域已經延展至十余個相關行業，包括環境樣品分析，如自來水、地表水、地下水、海水以及各種土壤、污泥、廢棄物等的分析;半導體行業的各種材料、試劑的痕量污染物分析領域，如高純試劑(強酸、強堿、尤其是有機試劑)，高純金屬(電極等)，Si、CaAs晶片的超痕量雜質，光刻膠和清洗劑等高基體不穩定樣品;食品分析領域，如衛生防疫、商檢、煙酒食品的質量控制，鑒別真偽等;生物、醫藥、臨床等研究領域，如頭發、血樣、尿樣、生物組織的分析以及蛋白質、酶等的生物機理研究，藥品質量控制等。

此次賽默飛帶來的支持三重四極桿技術的Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS是一種高性能ICP-MS，適用于與半導體行業相關的多種挑戰性基質中進行痕量元素、超痕量定量檢測。在不犧牲靈敏、易用的工作臺儀器所具備的檢測能力的前提下，還具有三重四極桿技術出色的去干擾能力，可更好地對各種較具挑戰性的基質中的元素雜質進行檢測。由于iCAP TQs ICP-MS占地面積小，加之具有簡化的工作流程并支持自動化方法開發而特別易于使用，其成為用于確保關鍵生產工藝一致性和提高半導體硅片加工產量而進行在線質量控制的理想檢查工具。

Thermo Scientific™ Phenom™ ProX

2016年，賽默飛收購了電鏡公司FEI，其提供的Apreo掃描電鏡采用創新的復合透鏡設計，結合了靜電和磁浸沒技術，可以產生前所未有的高分辨率和信號選擇，這使Apreo掃描電鏡成為研究納米顆粒、催化劑、粉末和納米元件的理想平臺，且不會影響磁性樣品性能。2017年底，賽默飛收購了臺式掃描電鏡公司Phenom-World，并將其業務融入旗下的分析儀器部門。如今，除Phenom Pharos臺式掃描電鏡外，賽默飛還提供Phenom XL臺式掃描電鏡和Phenom ProX臺式掃描電鏡等產品。Thermo Fisher Scientific飛納臺式掃描電鏡是半導體行業中高效的檢測分析儀器，主要用于工業質量控制、缺陷分析和產品研發，其可以選配飛納自動傾斜旋轉樣品杯或中心樣品杯觀察半導體樣品。通過傾斜旋轉樣品，該設備能夠展現獨特的3D圖像，分析樣品上的隱藏特征，幫助用戶把控產品質量。

“我們很高興通過新的Phenom Pharos顯微鏡將場發射槍的優勢帶到臺式掃描電鏡中，”賽默飛材料科學副總裁Trisha Rice如是說，“Phenom Pharos儀器將場發射電子源的高分辨率功能帶給更廣泛的研究人員。如今，我們為用戶提供一系列完整的掃描電鏡，從臺式儀器到高端型號，讓他們能夠始終處于探索的前沿。”

賽默飛進入中國發展已超過35年，在中國的總部設于上海，并在北京、廣州、香港、成都、沈陽、西安、南京、武漢、昆明等地設立了分公司，產品主要包括分析儀器、實驗室設備、試劑、耗材和軟件等，提供實驗室綜合解決方案，為各行各業的用戶服務。作為科學服務領域的世界領導者，賽默飛的使命是幫助用戶讓世界更健康、更清潔、更安全，加速用戶在生命科學領域的研究以及解決他們在分析領域所遇到的復雜問題與挑戰，提高實驗室生產力。展會現場，賽默飛展示了ELITE的實體機器并進行了DEMO演示，吸引了大批專業及相關人士的駐足了解與問詢。數量眾多的同行以及訪客在展臺現場聆聽了現場工程師講解賽默飛在半導體行業的綜合解決方案，并共同分享探討了半導體行業內的前沿技術與最新市場動態。